买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉MKS仪器有限公司申请的专利脉冲双向射频源/负载获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115172130B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210824403.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权脉冲双向射频源/负载是由亚伦·T·瑞多姆斯基;凯·卢;拉里·J·菲斯克二世;R·莱因哈特;马修·G·哈林顿;哈米西·鲁格胡努尼多;杰西·N·克莱因;亚伦·M·贝里设计研发完成，并于2018-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本脉冲双向射频源/负载在说明书摘要公布了：提供了脉冲双向射频源负载。射频电源系统包括主RF发生器和辅助RF发生器，其中每个发生器输出相应的RF信号。主RF发生器还将RF控制信号输出到辅助RF发生器，并且由辅助RF发生器输出的RF信号根据RF控制信号而改变。辅助RF发生器接收指示由主RF发生器和辅助RF发生器输出的相应RF信号的电特性的感测信号。辅助RF发生器确定RF信号之间的相位差。所感测的电特性和相位独立地或协作地被使用以控制由辅助RF发生器输出的RF信号的相位和振幅。辅助发生器包括电感箝位电路，其将所反射的能量从耦合网络返回到可变电阻负载。

本发明授权脉冲双向射频源/负载在权利要求书中公布了：1.一种RF系统，包括： 第一RF发生器，连接到负载的第一电极，所述第一RF发生器配置成向所述第一电极产生第一RF信号； 第二RF发生器，连接到负载的第二电极，所述第二RF发生器配置成向所述第二电极产生第二RF信号，其中所述第一RF发生器和所述第二RF发生器向所述第一电极和所述第二电极提供相应的RF电压；以及 控制器，配置成控制所述第二RF发生器，所述控制器向所述第一RF发生器和所述第二RF发生器中的至少一个产生控制信号， 其中，所述第一RF发生器和所述第二RF发生器配置成根据从所述第一RF发生器传递到所述第二RF发生器的RF控制信号，以相同的频率操作， 其中，所述第二RF发生器配置成经由第二数字通信端口将请求传递到所述第一RF发生器以请求所述第二RF信号的脉动的调节，并且所述第一RF发生器配置成改变施加到所述第二RF发生器的脉冲控制信号以调节所述第二RF信号的脉动，并且 其中所述第二RF发生器进一步包括： 第一传感器，配置成检测所述第一RF信号的至少一个第一电特性，并根据所述至少一个第一电特性来产生第一传感器输出信号； 功率放大器；以及 DC发生器，配置成将DC电压输出到所述功率放大器， 其中所述控制器配置成接收所述至少一个第一电特性，所述控制器配置成确定所述DC发生器的设定点，并且所述控制器配置成产生根据所述设定点而变化的DC控制信号并将所述DC控制信号传递到所述DC发生器以改变所述DC电压。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人MKS仪器有限公司，其通讯地址为：美国马萨诸塞州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。