应用材料公司S·普劳蒂获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利具有改良的接合层保护的基板支撑载体获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113853672B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080035413.7，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权具有改良的接合层保护的基板支撑载体是由S·普劳蒂;A·施密特;J·西蒙斯;S·班达设计研发完成，并于2020-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有改良的接合层保护的基板支撑载体在说明书摘要公布了：一种基板支撑基座包括静电吸盘、冷却基部、气流通道、多孔塞和密封构件。静电吸盘包括具有腔的主体。冷却基部经由接合层耦接到静电吸盘。气流通道形成在静电吸盘的顶表面与冷却基部的底表面之间。气流通道进一步包括腔。多孔塞定位于腔内，以控制通过气流通道的气流。所述密封构件邻近所述多孔塞定位，且所述密封构件经配置形成以下各者中的一个或多个：所述多孔塞与所述腔之间的径向密封以及所述多孔塞与所述冷却基部之间的轴向密封。
本发明授权具有改良的接合层保护的基板支撑载体在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘，包括： 主体，所述主体包括： 顶表面；以及 腔； 气流通道，所述气流通道在所述顶表面与冷却基部的底表面之间形成，所述气流通道包括所述腔并且由所述冷却基部内的凹槽界定；以及 多孔塞，所述多孔塞定位在所述腔内，其中密封构件设置在所述凹槽中并且接触所述多孔塞的底表面，所述密封构件经配置形成所述多孔塞与所述凹槽的底部之间的密封。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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