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龙图腾网获悉德国艾托特克公司申请的专利将物品移动到处理站的装置和方法、输送系统和处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114144870B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080052801.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权将物品移动到处理站的装置和方法、输送系统和处理设备是由R·普雷切尔设计研发完成，并于2020-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本将物品移动到处理站的装置和方法、输送系统和处理设备在说明书摘要公布了：一种装置，其用于将包括至少衬底2的物品移动通过处理设备的处理站1a,b的开口侧，所述装置包括可放置在所述处理站1a,b处的至少一个支撑件26；26'。所述装置包括至少一个载架27a,b；27'a,b，其各自导引以沿主要平行于参考坐标系中的参考轴线z定向的相应路径相对于所述一或多个支撑件26；26'移动。所述装置包括至少一个装置29a,b,30a,b,31a,b；37a,b，其用于控制所述载架27a,b；27'a,b中的至少一个的移动且驱动沿所述路径在相反方向中的至少一个上的移动。所述装置包括用于固持所述物品的组件21；21'和悬挂机构，所述固持组件21；21'通过所述悬挂机构连接到所述至少一个载架27a,b；27'a,b。所述悬挂机构布置成导引所述固持组件21；21'沿固持组件21；21'路径相对于所述至少一个载架27a,b；27'a,b的移动。所述装置29a,b,30a,b,31a,b；37a,b布置成驱动所述固持组件21；21'沿所述固持组件路径在至少一个方向上的移动。所述固持组件路径主要平行于所述参考轴线z定向。

本发明授权将物品移动到处理站的装置和方法、输送系统和处理设备在权利要求书中公布了：1.一种用于将包括至少衬底2的物品移动通过处理设备的处理站1a,b的开口侧的装置，所述装置包括： 至少一个支撑件26；26'，其可放置在所述处理站1a,b处， 至少一个载架27a,b；27'a,b，其各从导引以沿平行于参考坐标系中的参考轴线z定向的相应路径相对于所述一或多个支撑件26；26'移动； 至少一个控制装置29a,b,30a,b,31a,b；37a,b，其用于控制所述载架27a,b；27'a,b中的至少一个的移动且驱动沿所述路径在相反方向中的至少一个上的移动； 固持组件21；21'，其用于固持所述物品；以及 悬挂机构，所述固持组件21；21'通过所述悬挂机构连接到所述至少一个载架27a,b；27'a,b， 其中所述悬挂机构布置成导引所述固持组件21；21'沿固持组件21；21'路径相对于所述至少一个载架27a,b；27'a,b的移动，且 其中所述控制装置29a,b,30a,b,31a,b；37a,b布置成驱动所述固持组件21；21'沿所述固持组件路径在至少一个方向上的移动，其特征在于 所述固持组件路径平行于所述参考轴线z定向。

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