极光先进雷射株式会社大贺敏浩获国家专利权
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龙图腾网获悉极光先进雷射株式会社申请的专利电子器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115997171B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080104279.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权电子器件的制造方法是由大贺敏浩;藤井光一;若林理设计研发完成，并于2020-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子器件的制造方法在说明书摘要公布了：本公开的一个观点的电子器件的制造方法包含以下步骤：根据在晶片的扫描场内被形成的图案求出作为与扫描方向正交的扫描宽度方向上的畸变成分的倍率；在扫描场内的多点计测晶片高度，求出扫描宽度方向的晶片高度的平均值；求出在基于晶片高度的平均值的对焦位置的情况下呈现容许CD值的脉冲激光的波长范围；求出呈现求出的倍率的脉冲激光的第1波长；根据波长范围和第1波长求出目标波长；以及从激光装置输出被控制成每个脉冲的波长成为目标波长的脉冲激光，在晶片的扫描场进行曝光。
本发明授权电子器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种电子器件的制造方法，其包含在曝光装置内在晶片上扫描曝光脉冲激光的步骤，其中，所述电子器件的制造方法包含以下步骤： 根据在所述晶片的扫描场内被形成于所述晶片的图案，求出作为与扫描方向正交的扫描宽度方向上的畸变成分的倍率； 在所述晶片的所述扫描场内的多点计测晶片高度，根据所述晶片高度的计测结果求出所述扫描场内的所述扫描宽度方向上的所述晶片高度的平均值； 求出在基于所述晶片高度的平均值的对焦位置的情况下呈现容许临界尺寸CD值的所述脉冲激光的波长范围； 求出呈现所述倍率的所述脉冲激光的第1波长； 根据所述波长范围和所述第1波长求出所述脉冲激光的目标波长； 通过激光装置以每个脉冲的波长成为所述目标波长的方式生成所述脉冲激光，将该脉冲激光输出到所述曝光装置；以及 在所述晶片的所述扫描场曝光所述脉冲激光。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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