杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰集昕微电子有限公司季锋获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰集昕微电子有限公司申请的专利微机电传感器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112327002B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011044408.0，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权微机电传感器及其制造方法是由季锋;闻永祥;刘琛;贺锦设计研发完成，并于2020-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电传感器及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种微机电传感器及其制造方法，微机电传感器包括：埋层，包括多个第一增高区域；位于埋层上的多个检测电极和多个布线电极，多个检测电极分别覆盖多个第一增高区域；位于多个检测电极和多个布线电极上方的扭摆臂，扭摆臂、多个检测电极和多个布线电极互不接触；位于扭摆臂上方的扭摆和多个可动扭摆块，多个可动扭摆块通过扭摆臂与扭摆连接，多个可动扭摆块和扭摆臂形成可动结构；位于扭摆臂上方的多个固定电极；位于埋层上支撑壁，位于支撑壁上的保护壁，支撑壁和保护壁围成空腔，可动结构、扭摆、多个检测电极、多个布线电极和多个固定电极位于空腔中。本发明实施例提高了微机电传感器的灵敏度，改善了可动结构在冲击下断裂的问题。
本发明授权微机电传感器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种微机电传感器，其中，包括： 衬底； 埋层，位于所述衬底上，所述埋层包括多个第一增高区域，所述埋层上设置有多个检测电极和多个布线电极，所述多个检测电极分别覆盖所述多个第一增高区域； 扭摆臂，所述扭摆臂位于所述多个检测电极和所述多个布线电极上方，所述扭摆臂与所述多个检测电极和多个布线电极互不接触； 扭摆和多个可动扭摆块，所述扭摆和所述多个可动扭摆块位于所述扭摆臂上方，所述多个可动扭摆块通过所述扭摆臂与所述扭摆连接，所述多个可动扭摆块和所述扭摆臂形成可动结构； 多个固定电极，所述多个固定电极位于所述扭摆臂上方； 支撑壁和保护壁，所述支撑壁位于所述埋层上，所述保护壁位于所述支撑壁上，所述支撑壁和所述保护壁围成空腔，所述可动结构、所述扭摆、所述多个检测电极、所述多个布线电极和所述多个固定电极位于所述空腔中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰集昕微电子有限公司，其通讯地址为：310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街（东）308号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号