EMD株式会社江部明宪获国家专利权
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龙图腾网获悉EMD株式会社申请的专利等离子源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112702829B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011131198.9，技术领域涉及：H05H1/46；该发明授权等离子源是由江部明宪设计研发完成，并于2020-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子源在说明书摘要公布了：本发明提供一种感应耦合型的等离子源，其具有构造简易、且可抑制装置所需成本的天线的冷却机构。等离子源10是于真空容器21内生成等离子的装置，其具备设于真空容器21的壁211的框天线固定框12、及固定于上述框内的面状的天线11。由于天线11的周围被上述框包围，故天线11所产生的热自其周围流出至框，进而自框流出至真空容器，因此高效地冷却。因此，无需使用液体或气体的冷媒，可使构造简化，且无需冷媒的温度管理装置或循环装置，因此可抑制装置所需的成本。
本发明授权等离子源在权利要求书中公布了：1.一种等离子源，其是于真空容器内生成等离子的装置，其具备： a设于上述真空容器的壁的框； b固定于上述框内的面状的天线；及 c绝缘体板，该绝缘体板是绝缘体制的板材，配置于上述天线的上述真空容器的外部侧，与上述框接触； 并且未设置通过流动冷媒来冷却上述天线的冷却机构； 上述框及上述天线设于封堵上述真空容器所具有的开口的盖构件； 上述天线与上述绝缘体板之间填充有介电体制的接着剂； 使上述天线所产生的热经由固定有该天线的上述框传递至热浴亦即上述真空容器，由此冷却上述天线。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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