ASM IP私人控股有限公司文炯哲获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112885692B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011201957.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理设备是由文炯哲;郑元基设计研发完成，并于2020-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备在说明书摘要公布了：一种能够最小化下部空间中的填充气体对基板处理的影响的基板处理设备包括：基板支撑单元；围绕基板支撑单元的至少一个环；基板支撑单元上的处理单元；以及排气单元，其连接到基板支撑单元和处理单元之间的反应空间，其中反应空间中的第一气体通过第一通道传输到排气单元，基板支撑单元下方的下部空间中的第二气体通过第二通道传输到排气单元，并且第一通道和第二通道被至少一个环分离。
本发明授权基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 基板支撑单元； 围绕基板支撑单元的至少一个环； 基板支撑单元上的处理单元；以及 排放单元，其连接到基板支撑单元和处理单元之间的反应空间， 其中，所述反应空间中的第一气体通过第一通道传输到排放单元， 所述基板支撑单元下方的下部空间中的第二气体通过第二通道传输到排放单元，并且 所述第一通道和第二通道被所述至少一个环分离， 所述至少一个环包括流动控制环，所述流动控制环相对于所述基板支撑单元横向移动，来调节第二通道的宽度或间隔。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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