意法半导体股份有限公司D·朱斯蒂获国家专利权
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龙图腾网获悉意法半导体股份有限公司申请的专利具有变形传感器的压电致动器及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113620233B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110492170.6,技术领域涉及:B81B3/00;该发明授权具有变形传感器的压电致动器及其制造方法是由D·朱斯蒂;C·L·佩瑞里尼;M·费雷拉;C·M·拉扎里;L·塞吉齐;N·博尼;R·卡尔米纳蒂;F·夸利亚设计研发完成,并于2021-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有变形传感器的压电致动器及其制造方法在说明书摘要公布了:MEMS致动器由以下部件形成:基底,围绕腔体;可变形结构,悬置在腔体上;致动结构,由第一压电材料的第一压电区域形成,由可变形结构支撑并且被配置为引起可变形结构的变形;以及检测结构,由第二压电材料的第二压电区域形成,由可变形结构支撑并且被配置为检测可变形结构的变形。
本发明授权具有变形传感器的压电致动器及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种微机电结构MEMS致动器,包括: 基底,围绕腔体; 可变形结构,悬置在所述腔体上; 致动结构,其包括: 第一压电材料的第一压电区域,由所述可变形结构支撑并且被配置为引起所述可变形结构的变形;以及 检测结构,其包括: 第二压电材料的第二压电区域,由所述可变形结构支撑并且被配置为检测所述可变形结构的所述变形,其中所述检测结构包括在所述致动结构上的测试检测结构。
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