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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利一种衬底的清洁方法以及用于清洁衬底的系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116092915B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111315712.9，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种衬底的清洁方法以及用于清洁衬底的系统是由李世鸿设计研发完成，并于2021-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种衬底的清洁方法以及用于清洁衬底的系统在说明书摘要公布了：本公开实施例提供了一种衬底的清洁方法，所述方法包括：将所述衬底暴露于清洗剂，以去除位于所述衬底表面的杂质；将所述衬底暴露于液态去湿化学剂，以去除位于所述衬底的表面上的所述清洗剂；固化残留在所述衬底的表面上的所述液态去湿化学剂得到固态去湿化学剂；升华并移除所述固态去湿化学剂。通过将液态去湿化学剂固化后进行升华移除的方法，固化后的去湿化学剂可以消除气液界面，使得表面张力接近于零，在后续升华去除的过程中消除毛细力，减少毛细力对衬底结构的破坏，达到无损清洁的效果。同时，由于消除了毛细力的影响，能够大大减少清洗剂和杂质在衬底表面的残留。

本发明授权一种衬底的清洁方法以及用于清洁衬底的系统在权利要求书中公布了：1.一种衬底的清洁方法，其特征在于，包括： 通过将所述衬底暴露于清洗剂，去除位于所述衬底表面的杂质，包括：控制所述衬底以第三速度旋转，将第一清洗剂喷洒在所述衬底的表面；控制所述衬底以第四速度旋转，将第二清洗剂喷洒在所述衬底的表面，以去除位于所述衬底表面上的第一清洗剂； 通过将所述衬底暴露于液态去湿化学剂，去除位于所述衬底的表面上的所述清洗剂，包括：控制所述衬底以第一速度旋转，将所述液态去湿化学剂喷洒在所述衬底的表面，以将残留在所述衬底的表面上的所述清洗剂溶于所述液态去湿化学剂；控制所述衬底以第二速度旋转，以去除位于所述衬底的表面上的部分所述液态去湿化学剂，其中，所述第二速度小于所述第一速度； 固化残留在所述衬底的表面上的所述液态去湿化学剂得到固态去湿化学剂，包括：控制所述衬底以第五速度旋转，控制腔室的温度和或压强，使得腔室中的温度低于所述液态去湿化学剂的在腔室压强下的冻结点，以使得残留在所述衬底上的所述液态去湿化学剂凝固得到固态去湿化学剂；移除所述固态去湿化学剂，包括：控制所述衬底以第六速度旋转，控制腔室的温度和或压强，使得腔室中的温度高于所述固态去湿化学剂的在腔室压强下的升华点，以使得所述固态去湿化学剂升华得到气态去湿化学剂；其中，所述第一速度、所述第三速度和所述第四速度大于所述第六速度，所述第六速度大于所述第二速度和所述第五速度； 升华并移除所述固态去湿化学剂。

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