株式会社斯库林集团大西脩平获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利温度测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114975151B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210137033.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权温度测量方法是由大西脩平;北泽贵宏设计研发完成，并于2022-02-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种即使基板的表面和背面的辐射率均未知，也能够准确地测量基板的表面温度的温度测量方法。利用来自卤素灯的光照射对在表面安装有热电偶的带热电偶的晶片进行加热，并且，利用热电偶来测量该带热电偶的晶片的表面温度并利用背面侧辐射温度计测量背面的温度。基于由热电偶测量出的带热电偶的晶片的温度来校正在背面侧辐射温度计设定的辐射率。接下来，利用来自卤素灯的光照射对在表面形成有图案的半导体晶片进行加热，并分别利用背面侧辐射温度计以及表面侧辐射温度计来测量该半导体晶片的背面以及表面的温度。基于由背面侧辐射温度计测量出的半导体晶片的温度来校正在表面侧辐射温度计设定的辐射率。
本发明授权温度测量方法在权利要求书中公布了：1.一种温度测量方法，测量基板的温度，其中，包括： 第一校正工序，对在表面安装有接触式温度计的第一基板进行加热，并利用背面侧辐射温度计来测量所述第一基板的背面的温度，基于由所述接触式温度计测量出的所述第一基板的温度，对在所述背面侧辐射温度计设定的辐射率进行校正； 第二校正工序，对在表面形成有图案的第二基板进行加热，并分别利用所述背面侧辐射温度计以及表面侧辐射温度计测量所述第二基板的背面以及表面的温度，基于由所述背面侧辐射温度计测量出的所述第二基板的温度，对在所述表面侧辐射温度计设定的辐射率进行校正；以及 温度测量工序，利用所述表面侧辐射温度计测量通过光照射而被加热的所述第二基板的表面温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号