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株式会社荏原制作所高桥直人获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利基板保持器、镀覆装置以及镀覆方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116411330B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310461440.6,技术领域涉及:C25D17/02;该发明授权基板保持器、镀覆装置以及镀覆方法是由高桥直人设计研发完成,并于2023-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。

基板保持器、镀覆装置以及镀覆方法在说明书摘要公布了:本发明涉及基板保持器、镀覆装置以及镀覆方法,上述基板保持器用于保持基板,并使基板与镀覆液接触而进行镀覆,具备:接头,用于与在上述基板的表面形成的种子层接触并供电;保护电极,是不溶解性的电极且相对于上述接头向高电位侧偏置;以及保持器主体,具有内部空间,该内部空间在由上述基板保持器保持上述基板的状态下,以从上述基板保持器的外部密封的状态将上述基板的外周部、上述接头以及上述保护电极收纳,并且对至少将上述保护电极的一部分、以及、上述种子层与上述接头接触的接触部位覆盖的液体进行保持。

本发明授权基板保持器、镀覆装置以及镀覆方法在权利要求书中公布了:1.一种基板保持器,所述基板保持器用于保持基板,并使基板与镀覆液接触而进行镀覆,其中,具备: 接头,用于与在所述基板的表面形成的种子层接触并供电; 保护电极,是不溶解性的电极且相对于所述接头向高电位侧偏置;以及 保持器主体,具有内部空间,该内部空间在由所述基板保持器保持所述基板的状态下,以从所述基板保持器的外部密封的状态将所述基板的外周部、所述接头以及所述保护电极收纳,并且对至少将所述保护电极的一部分、以及、所述种子层与所述接头接触的接触部位覆盖的液体进行保持。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社荏原制作所,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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