广东金仕伦清洗技术有限公司郑国绍获国家专利权
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龙图腾网获悉广东金仕伦清洗技术有限公司申请的专利一种用于晶圆盒烘干除湿的真空加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223228675U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422288591.9，技术领域涉及：F26B5/04；该实用新型一种用于晶圆盒烘干除湿的真空加热装置是由郑国绍;梁小龙;曾志家设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆盒烘干除湿的真空加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆盒烘干除湿的真空加热装置，包括底板，所述底板设有烘干箱，烘干箱内侧壁设有多个加热棒，还包括设置于底板靠近烘干箱一侧的隔离罩，所述烘干箱位于隔离罩内，所述底板设有用于对隔离罩进行驱动的驱动组件，所述隔离罩远离底板的一端设有小型真空泵，所述烘干箱设有用于对晶圆盒进行放置的放置组件。本实用新型通过隔离罩的设置，利用小型真空泵使得晶圆盒的烘干除湿环境形成真空，从而减少了热量损失和环境污染，从而降低了对晶圆盒清洗的能耗支出，同时，利用烘干箱内部气体压力的降低，使湿气更容易从晶圆盒中逸出。
本实用新型一种用于晶圆盒烘干除湿的真空加热装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆盒烘干除湿的真空加热装置，包括： 底板101，所述底板101设有烘干箱102，烘干箱102内侧壁设有多个加热棒； 其特征在于，还包括： 设置于底板101靠近烘干箱102一侧的隔离罩2，所述烘干箱102位于隔离罩2内，所述底板101设有用于对隔离罩2进行驱动的驱动组件，所述隔离罩2远离底板101的一端设有小型真空泵3，所述烘干箱102设有用于对晶圆盒进行放置的放置组件，所述放置组件设置有多组。
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