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上海良薇机电工程有限公司张倩玉获国家专利权

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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种气体混合装置及半导体工艺系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223221292U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422343144.9,技术领域涉及:B01F23/10;该实用新型一种气体混合装置及半导体工艺系统是由张倩玉;纪雪峰设计研发完成,并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种气体混合装置及半导体工艺系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种气体混合装置及半导体工艺系统,气体混合装置包括混气单元、进气单元、混合单元和排气单元。其优点在于,利用进气单元与气体供应装置连通,并将混合气体输送至混气单元,混合气流推动混合单元转动,进而推动混合气体向混气单元运动,经排气单元将混合均匀的混合气体输入其他工艺设备;结构简单,活动结构少,且均可自发进行运动,无需借助外部动力设备;同时气密性好,可用于多种气体混合,使用范围广,且无气体泄露风险,解决了气体混合需要电机驱动、混合装置气密性差、活动部件多易发生故障、使用受限的问题。

本实用新型一种气体混合装置及半导体工艺系统在权利要求书中公布了:1.一种气体混合装置,其特征在于,包括: 混气单元,用于供气体混合; 进气单元,所述进气单元设置于所述混气单元的内部,所述进气单元的第一端设置于所述混气单元的第一端且与气体供应装置连通,所述进气单元的第二端靠近所述混气单元的内部的第二端设置,用于从气体供应装置获取混合气体、供应混合气体至所述混气单元; 混合单元,所述混合单元设置于所述混气单元的内部的第二端,并靠近所述进气单元的第二端设置,用于在所述进气单元供应的混合气体的作用下转动以对混合气体进行二次混合; 排气单元,所述排气单元设置于所述混气单元的第二端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海良薇机电工程有限公司,其通讯地址为:201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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