赛林斯弥(无锡)电子科技有限公司陈兆荣获国家专利权
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龙图腾网获悉赛林斯弥(无锡)电子科技有限公司申请的专利一种晶圆加热盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223231340U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422366089.5，技术领域涉及：H05B3/02；该实用新型一种晶圆加热盘是由陈兆荣;武斌;盛伟;姜月;尚成迎设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加热盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆加热盘，其包括底盘、加热盘和加热组件，所述加热组件包括引脚、加热管，所述底盘和加热盘组成一个加热腔，所述加热管设置在所述加热腔内，所述引脚设置在所述底盘外壁上，所述引脚与所述加热管连接，所述加热管，所述加热管设置有至少四组，所述引脚的数量与所述加热管数量相同，所述引脚外接电源，所述电源通过引脚对所述加热管加热，所述加热管抵接所述加热盘底部，在加热盘底部设置至少四组加热管，便可实现至少四个分区对加热盘进行加热，分区域加热可以针对不同区域的加工要求进行个别的控制，不同区域的加热时间和温度可以根据工艺需求进行调整。
本实用新型一种晶圆加热盘在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热盘，其特征在于：包括底盘1、加热盘2和加热组件3，所述加热组件3包括引脚32、加热管31，所述底盘1和加热盘2组成一个加热腔，所述加热管31设置在所述加热腔内，所述引脚32设置在所述底盘1外壁上，所述引脚32与所述加热管31连接，所述加热管31，所述加热管31设置有至少四组，所述引脚32的数量与所述加热管31数量相同，所述引脚32外接电源，所述电源通过引脚32对所述加热管31加热，所述加热管31抵接所述加热盘2底部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人赛林斯弥(无锡)电子科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市锡山区安镇街道先锋中路6号中国电子(无锡)数字芯城6#-A-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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