合肥芯昊半导体设备有限公司张汪杰获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯昊半导体设备有限公司申请的专利一种薄膜刻蚀机的台面清理机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223222025U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422382050.2，技术领域涉及：B08B1/16；该实用新型一种薄膜刻蚀机的台面清理机构是由张汪杰;刘杨;刘凌峰;戴明珂设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜刻蚀机的台面清理机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种薄膜刻蚀机的台面清理机构，涉及刻蚀机技术领域，包括支撑座一与支撑座二，支撑座一与支撑座二安装在刻蚀机的台面两侧，支撑座一与支撑座二之间活动设置连接板，连接板的端部固定安装有固定板，固定板的一端固定安装有清洁板，清洁板的底端固定连接刮板，刮板与台面相互接触，清洁板的一侧设置清理部件，清理部件与刮板的表面接触。该种实用新型，通过能够横向运动的清洁板与刮板，能够对台面上的杂质进行清理，同时在清洁板与刮板之间设置一组能够纵向运动的清洁条，该清洁条鱼刮板的表面接触且运动，从而有效的将刮板上的杂质完成清理，保障刮板表面的整洁性，提高后期的清洁质量。
本实用新型一种薄膜刻蚀机的台面清理机构在权利要求书中公布了：1.一种薄膜刻蚀机的台面清理机构，其特征在于，包括支撑座一（1）与支撑座二（2），所述支撑座一（1）与支撑座二（2）安装在刻蚀机的台面两侧，所述支撑座一（1）与支撑座二（2）之间活动设置连接板（6），所述连接板（6）的端部固定安装有固定板（9），所述固定板（9）的一端固定安装有清洁板（10），所述清洁板（10）的底端固定连接刮板（11），所述刮板（11）与台面相互接触，所述清洁板（10）的一侧设置清理部件，所述清理部件与刮板（11）的表面接触。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯昊半导体设备有限公司，其通讯地址为：230000 安徽省合肥市高新区大别山路1800号优思天成高技术创新产业园3#A座一楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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