嘉兴博瑞半导体装备有限公司吴维国获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉兴博瑞半导体装备有限公司申请的专利一种化学气相沉积炉的导气座获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223226168U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422473103.1,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种化学气相沉积炉的导气座是由吴维国;彭诚纲;王亚设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积炉的导气座在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的导气座,属于沉积炉技术领域,旨在解决现有技术由于管路的走向不同,管路自身并不是水平排布,当处于转弯状态,会对导气座施加斜向的拉力,使得导气座被拉拽倾斜,长时间使用后,容易影响导气座与沉积炉的连接紧密性的问题。包括座体、固定架和支撑机构,座体的两端分别安装有炉体连接管、管道连接管,炉体连接管、管道连接管与座体连通;座体的外壁上固定有固定架,固定架呈U形结构,且半包围在座体的外侧,固定架上安装有支撑机构。该化学气相沉积炉的导气座,软管即使弯折排布,也可具有稳定的支撑力,支撑杆会与沉积炉的外壁紧密贴合来对拉力进行抵消,提升座体的使用寿命,减少损伤。
本实用新型一种化学气相沉积炉的导气座在权利要求书中公布了:1.一种化学气相沉积炉的导气座,包括座体1、固定架2和支撑机构5,其特征在于,所述座体1的两端分别安装有炉体连接管3、管道连接管4,所述炉体连接管3、管道连接管4与座体1连通; 所述座体1的外壁上固定有固定架2,所述固定架2呈U形结构,且半包围在座体1的外侧,所述固定架2上安装有支撑机构5; 所述支撑机构5包括活动块7、支撑杆6,所述固定架2的外侧壁上竖向开设有升降槽9,所述活动块7滑动安装在升降槽9内,所述支撑杆6呈L形结构,且一端在活动块7的底部转动安装,所述活动块7的内部还竖向安装有可升降的限位轴8,所述限位轴8的底部与翻转的支撑杆6抵接。
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