东莞市柯林奥半导体材料有限公司杨柳获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市柯林奥半导体材料有限公司申请的专利一种CMP晶片抛光载具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223223162U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422540205.0,技术领域涉及:B24B41/06;该实用新型一种CMP晶片抛光载具是由杨柳;张高杰设计研发完成,并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CMP晶片抛光载具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种CMP晶片抛光载具,其包括:载具壳体,所述载具壳体的上部开设有若干放置孔,所述放置孔的内侧壁固接有护边,所述放置孔的底端均开设有通孔,所述载具壳体的内部开设有收纳腔,所述收纳腔与通孔相贯通,所述收纳腔的内部设有升降组件,所述升降组件上方升降连接有推料组件。通过设置的推料组件、升降组件、放置孔,晶片抛光完成后,将晶片取出时,升降组件向上推动推料组件,将晶片从放置孔内直接推出,无需借助工具,护边对晶片的侧边进行了防护,避免了在晶片在脱孔的过程中发生刮蹭,提高成品率;通过设置的支撑柱、通孔、推板,在推料时,可将所有晶片一同脱孔,一次性将所有晶片取出,大大提高了加工效率。
本实用新型一种CMP晶片抛光载具在权利要求书中公布了:1.一种CMP晶片抛光载具,包括:载具壳体1,其特征在于,所述载具壳体1的上部开设有若干放置孔101,所述放置孔101的内侧壁固接有护边2,所述放置孔101的底端均开设有通孔103,所述载具壳体1的内部开设有收纳腔104,所述收纳腔104与通孔103相贯通,所述收纳腔104的内部设有升降组件4,所述升降组件4上方升降连接有推料组件3; 所述升降组件4包括伺服电机403、侧板404、活动壳406,两个所述侧板404的相对面之间贯穿转动连接有双向螺纹杆402,所述伺服电机403的输出端与双向螺纹杆402的一端固定连接,所述双向螺纹杆402的外侧壁贯穿螺纹连接有对称设置的位移板401,两个所述位移板401的侧壁转动连接有活动架408,所述活动架408的顶端均设有滑杆405,所述活动壳406的前后侧各内壁开设有滑槽407,两个所述滑杆405的侧壁均与滑槽407的内侧壁滑动连接; 所述推料组件3包括与所述放置孔101位置相对应的推板303,所述推板303的底端均固接有支撑柱302,所述支撑柱302的底端固接有底板301。
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