株式会社斯库林集团尾辻正幸获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利含有升华性物质的液体的制造方法、基板干燥方法及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113874986B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080038988.4，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权含有升华性物质的液体的制造方法、基板干燥方法及基板处理装置是由尾辻正幸;藤原直澄;佐佐木悠太设计研发完成，并于2020-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本含有升华性物质的液体的制造方法、基板干燥方法及基板处理装置在说明书摘要公布了：基于图案的表面为亲水性还是疏水性来选择升华性物质。在图案的表面为亲水性的情况下，选择对水的溶解度比所选择的升华性物质小的亲水用的溶剂，在图案的表面为疏水性的情况下，选择对油的溶解度比所选择的升华性物质小的疏水用的溶剂。使所选择的升华性物质溶解于所选择的溶剂中。
本发明授权含有升华性物质的液体的制造方法、基板干燥方法及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种含有升华性物质的液体的制造方法，制造在使形成有图案的基板的表面干燥时从所述基板被除去的含有升华性物质的液体，其中，包括： 升华性物质选择工序，在所述图案的表面为亲水性的情况下，选择含有亲水基的升华性物质，在所述图案的所述表面为疏水性的情况下，选择含有疏水基的升华性物质； 溶剂选择工序，在所述图案的所述表面为亲水性的情况下，选择对水的溶解度比在所述升华性物质选择工序中选择的所述升华性物质小的亲水用的溶剂，在所述图案的所述表面为疏水性的情况下，选择对油的溶解度比在所述升华性物质选择工序中选择的所述升华性物质小的疏水用的溶剂；以及 溶解工序，使在所述升华性物质选择工序中选择的所述升华性物质溶解于在所述溶剂选择工序中选择的所述溶剂中。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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