西湖仪器(杭州)技术有限公司刘霄获国家专利权
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龙图腾网获悉西湖仪器(杭州)技术有限公司申请的专利一种固定工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223218287U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422066975.6,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种固定工装是由刘霄;刘东立;俞小英设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种固定工装在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种固定工装,其包括底托、设置于底托顶部的附着部、围绕附着部布置的定心部和或定位标靶、设置于底托周壁的夹持面、以及设置于底托上的信息载体,附着部的附着端朝向工件底部布置,定心部和或定位标靶的定位端相对工件周壁布置。本实用新型通过在晶锭和晶圆等工件上外附底托,并通过廉价的底托代替工件在加工和转运过程中进行受力保护和加工信息溯源,有效解决了现有技术中存在的工件损伤风险大、生产效率低、良品率低、信息追踪管理复杂等问题,可以显著提高加工的精度和效率,降低生产成本。
本实用新型一种固定工装在权利要求书中公布了:1.一种固定工装,其特征在于:包括底托1、设置于所述底托1顶部的附着部2、围绕所述附着部2布置的定心部3和或定位标靶6、设置于所述底托1周壁的夹持面4、以及设置于所述底托1上的信息载体5,所述附着部2的附着端朝向工件底部布置,所述定心部3和或定位标靶6的定位端相对工件周壁布置。
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