成都理工大学吴媛媛获国家专利权
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龙图腾网获悉成都理工大学申请的专利一种基于电子回旋共振的等离子体炬及其简化仿真方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119255465B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411339573.7,技术领域涉及:H05H1/46;该发明授权一种基于电子回旋共振的等离子体炬及其简化仿真方法是由吴媛媛;杨丰铭;朱铧丞设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于电子回旋共振的等离子体炬及其简化仿真方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于电子回旋共振的等离子体炬及其简化仿真方法,涉及微波等离子技术领域,包括矩形波导管、对称设置在所述矩形波导管上的两个圆波导管,所述圆波导管与所述矩形波导管内部贯通,还包括微波等离子体放电管,所述微波等离子体放电管贯穿所述矩形波导管和两个所述圆波导管的石英管,所述石英管上等间距缠绕有直流线圈,所述石英管内为等离子体放电区。本发明基于微波等离子体放电模型,结合电子回旋共振的思路,我们可以通过在电磁场中引入等间距的线圈来提高局部电场,从而增加等离子体的激发效率;此外,为线圈提供直流电还可以引入恒定磁场,从而约束电子运动轨迹,提高等离子体的均匀性。
本发明授权一种基于电子回旋共振的等离子体炬及其简化仿真方法在权利要求书中公布了:1.一种基于电子回旋共振的等离子体炬,包括矩形波导管(2)、对称设置在所述矩形波导管(2)上的两个圆波导管(7),所述矩形波导管(2)的长度方向与所述圆波导管(7)的中心线正交,所述圆波导管(7)与所述矩形波导管(2)内部贯通,其特征在于,还包括微波等离子体放电管(4),所述微波等离子体放电管(4)贯穿所述矩形波导管(2)和两个所述圆波导管(7)的石英管(6),所述石英管(6)上等间距缠绕有直流线圈(8),所述石英管(6)内为等离子体放电区(9); 所述矩形波导管(2)内部远离微波入口一侧滑动设置有可调节短路面,所述矩形波导管(2)端部设置有调节所述可调节短路面位置的位置调节结构(5); 所述直流线圈(8)部分位于矩形波导管(2)内,所述直流线圈(8)部分位于所述圆波导管(7)内;所述直流线圈(8)中电流与电压可调制; 所述直流线圈(8)的两端分别与直流电源发生器(10)的正负极通过导线连接,所述石英管(6)一端为进气口,另一端连接有真空泵(11)。
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