应用材料公司D·J·本韦格努获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于CMP监控的彩色成像获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115555982B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211145611.6，技术领域涉及：B24B37/013；该发明授权用于CMP监控的彩色成像是由D·J·本韦格努;R·D·托勒斯;B·A·斯韦德克;A·拉维德设计研发完成，并于2016-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于CMP监控的彩色成像在说明书摘要公布了：一种抛光系统，包括：抛光站，包括用以支撑抛光垫的压板；支撑件，用以保持基板；直列计量站，用以在抛光站中抛光基板的表面之前或之后测量基板；及控制器。直列计量站包括彩色线扫描相机；白光源；框架，支撑光源和相机；及马达，用以沿垂直于第一轴线的第二轴线导致在相机和支撑件之间的相对运动，以导致光源和相机横跨基板扫描。控制器经配置以从相机接收颜色数据，从颜色数据产生二维彩色图像，并且基于该彩色图像控制在抛光站处的抛光。
本发明授权用于CMP监控的彩色成像在权利要求书中公布了：1.一种计算机程序产品，包括编码有指令的非瞬时计算机可读介质，所述指令用以使一个或多个处理器： 存储数据，所述数据指示二维彩色空间中的区域的边界，所述二维彩色空间具有一对颜色通道作为所述彩色空间的轴线，所述一对颜色通道包括第一颜色通道和第二颜色通道； 从相机接收基板的颜色数据； 从所述颜色数据生成所述基板的彩色图像； 针对所述彩色图像的多个像素的每个像素，执行所述像素的所述一对颜色通道的一对颜色值与所述二维彩色空间中的所述区域的所述边界的比较，以确定所述一对颜色值是否满足由所述边界提供的阈值； 对所述彩色图像中不满足所述阈值的像素的数目进行计数，并将像素的所述数目与第二阈值进行比较；以及 基于所述多个像素的所述比较的结果生成所述基板的通过失败指示。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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