ASM IP私人控股有限公司森幸博获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利多台基板处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113862648B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110664618.8，技术领域涉及：C23C16/54；该发明授权多台基板处理系统是由森幸博设计研发完成，并于2021-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本多台基板处理系统在说明书摘要公布了：真空处理模块具有预成型的顶板和或成型为向外凸起的底部。顶板和或处理模块的形状抵消了在处理模块中处理基板时由真空压力和或高温引起的变形。处理模块具有可通向传送室的侧面和与可打开侧面相对的侧面。凸起可以是不对称的，凸起的顶峰在顶板上偏心并且更靠近相对的侧面而不是可打开侧面。刚性结构可以安装在顶板上以调节顶板中的凸起的大小。梁可以是刚性梁，其具有可调节的提升机构，以提升顶板的附接部分。处理模块可以容纳多个基板以进行处理，每个基板在处理模块中占用专用的台。
本发明授权多台基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的处理模块，所述处理模块包括： 多个台，每个台配置为容纳基板；以及 包封所述多个台的壳体，所述壳体包括底部、顶板以及从所述底部延伸到所述顶板的侧壁， 其中，所述顶板的形状限定了向上延伸的凸起， 其中所述壳体还包括刚性结构，其设置在所述顶板上方并跨越所述顶板，所述刚性结构包括附接到所述顶板的提升机构，用于维持所述凸起的向上延伸。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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