无锡海飞凌科技有限公司万荣群获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡海飞凌科技有限公司申请的专利一种便于取放的碳化硅涂层载盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223206259U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422458286.X，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种便于取放的碳化硅涂层载盘是由万荣群设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于取放的碳化硅涂层载盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种便于取放的碳化硅涂层载盘，包括底板和石墨盒，所述底板的上端设置有第一支撑结构和第二支撑结构，石墨盒包括托盘和顶盖，所述第一支撑结构包括至少三个以载盘中心为圆心等距设置的顶盖支撑柱，所述顶盖支撑柱的下端同轴设置有托盘支撑件，所述第二支撑结构包括至少三个以载盘中心为圆心等距设置的载体支撑柱，所述载体支撑柱的顶端外侧为以载盘中心为圆心的圆弧，所述载体支撑柱的顶端内侧为以载盘中心为圆心的另一圆弧，所述载体支撑柱内侧的高度低于外侧的高度，使得载体在放置时能够自动落在载盘的中心，防止后续在拿取石墨盒和载体时顶盖和托盘夹到载体。
本实用新型一种便于取放的碳化硅涂层载盘在权利要求书中公布了：1.一种便于取放的碳化硅涂层载盘，其特征在于：包括底板1和石墨盒，所述底板1的上端设置有第一支撑结构和第二支撑结构，石墨盒包括托盘5和顶盖6，所述第一支撑结构包括至少三个以载盘中心为圆心等距设置的顶盖支撑柱2，所述顶盖支撑柱2的下端同轴设置有托盘支撑件3，所述第二支撑结构包括至少三个以载盘中心为圆心等距设置的载体支撑柱4，顶盖支撑柱的高度大于载体支撑柱4，所述载体支撑柱4的顶部支撑位置的高度高于托盘支撑件3的高度，所述载体支撑柱4的顶端外侧为以载盘中心为圆心的圆弧，所述载体支撑柱4的顶端内侧为以载盘中心为圆心的另一圆弧，所述载体支撑柱4内侧的高度低于外侧的高度，所述托盘5包括适配托盘支撑件3的外环51、内环52以及连接件53，外环51和内环52之间的距离小于托盘支撑件3的直径同时大于顶盖支撑柱2的直径，所述内环52向内延伸设置有载体支撑板54。
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