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争丰半导体科技(苏州)有限公司刘乾峰获国家专利权

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龙图腾网获悉争丰半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆夹持搬运装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223206260U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422463526.5,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种晶圆夹持搬运装置是由刘乾峰;周鹏程设计研发完成,并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆夹持搬运装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆夹持搬运装置,包括机架,机架的右侧设有升降模组,升降模组连接有水平设置的支架,支架的左端连接有夹持机构,机架上设有对中机构;对中机构包含电机,电机固定于机架的后侧,电机连接有水平转动设置的皮带,皮带连接有两个竖直设置的对中轨道组件,两个对中轨道组件与皮带的上下两侧分别连接,两个对中轨道组件与机架之间连接有水平设置的第二直线导轨。本实用新型的有益效果是:实现对晶圆夹持和垂直搬运,且在晶圆移动到设定位置后能够对晶圆进行对中定位,保证晶圆搬运位置的精准度;该夹持搬运装置能够降低设备上方中的灰尘颗粒物附着在晶圆表面的可能性,有效的减少了摩擦产生的脏污,同时搬运稳定性高。

本实用新型一种晶圆夹持搬运装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆夹持搬运装置,包括机架1,所述机架1的右侧设有升降模组2,其特征在于:所述升降模组2连接有水平设置的支架3,所述支架3的左端连接有夹持机构4,所述机架1上设有对中机构5;所述对中机构5包含电机51,所述电机51固定于机架1的后侧,所述电机51连接有水平转动设置的皮带52,所述皮带52连接有两个竖直设置的对中轨道组件53,两个所述对中轨道组件53与皮带52的上下两侧分别连接,两个所述对中轨道组件53与机架1之间连接有水平设置的第二直线导轨54;所述对中轨道组件53包含与第二直线导轨54相连接的竖直设置的安装板531,所述安装板531上设有竖直设置的第一对中基板532,所述安装板531的中间设有水平设置的第三气缸533,所述第三气缸533连接有竖直设置的第二对中基板534,所述第一对中基板532和第二对中基板534前后对称设置,所述第一对中基板532和第二对中基板534上均设有呈上下间隔设置的多个滚轮535。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人争丰半导体科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园1号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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