扬州晶新微电子有限公司汤善成获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州晶新微电子有限公司申请的专利一种晶圆吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223206256U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422504764.6，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆吸附装置是由汤善成设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆生产设备技术领域，具体涉及一种晶圆吸附装置。其包括吸附主体，吸附主体为条状，吸附主体内部沿其长度方向开设有真空隧道；吸附口设置于吸附主体一端，吸附口与真空隧道一端连通；真空接口设置于吸附主体另一端，真空接口与真空隧道另一端连通；若干固定孔设置于吸附主体上靠近真空接口一端。本实用新型用于解决狭小空间晶圆转移不便的问题。通过将吸附主体设置为长条状，再分别将吸附口和真空接口设置在长条状吸附主体的两端，通过内部的真空隧道连通吸附口和真空接口，之后吸附主体通过另一端上的固定孔固定，将吸附口那端作为自由端即可伸入一些狭小的空间，与吸附主体另一端连接的机械臂等的动作不受影响。
本实用新型一种晶圆吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸附装置，其特征在于，包括： 吸附主体，所述吸附主体为条状，所述吸附主体内部沿其长度方向开设有真空隧道； 至少一个吸附口，设置于所述吸附主体一端，所述吸附口与所述真空隧道一端连通； 真空接口，设置于所述吸附主体另一端，所述真空接口与所述真空隧道另一端连通； 若干固定孔，设置于所述吸附主体上靠近所述真空接口一端。
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