荣耀半导体材料(嘉善)有限公司洪巧水获国家专利权
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龙图腾网获悉荣耀半导体材料(嘉善)有限公司申请的专利一种晶圆载具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223206239U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422508405.8,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种晶圆载具是由洪巧水;朱明伟;刘小波设计研发完成,并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆载具在说明书摘要公布了:本申请公开了一种晶圆载具,涉及半导体制备技术领域,本申请的晶圆载具,包括支撑框架以及连接于支撑框架内的支撑平台,支撑平台包括在同一水平面上分布设置的至少两个支撑件,至少两个支撑件的呈环形分布设置,晶圆收容于支撑框架内,且搭载于支撑平台上,每个支撑件上设置有支撑垫,支撑垫具有弹性。本申请提供的晶圆载具,能够提高晶圆转运过程中的稳定性,降低污染。
本实用新型一种晶圆载具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆载具,其特征在于,包括支撑框架以及连接于所述支撑框架内的支撑平台,所述支撑平台包括在同一水平面上分布设置的至少两个支撑件,至少两个所述支撑件的呈环形分布设置,晶圆收容于所述支撑框架内,且搭载于所述支撑平台上,每个所述支撑件上设置有支撑垫,所述支撑垫具有弹性。
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