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龙图腾网获悉深圳市神州天柱科技有限公司申请的专利半导体物料盒夹紧装置及半导体等离子清洗机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223206237U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422527923.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型半导体物料盒夹紧装置及半导体等离子清洗机是由谭健设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体物料盒夹紧装置及半导体等离子清洗机在说明书摘要公布了：本申请涉及等离子清洗装置技术领域，具体提供半导体物料盒夹紧装置及半导体等离子清洗机，装置包括物料盒放置板、物料盒拉动板和活动限位机构，物料盒放置板包括放置板主体，放置板主体开设多个活动限位孔，放置板主体顶面上固定有多个物料盒固定定位板；活动限位机构包括多个物料盒活动定位板、丝杆组件和多组活动匹配让位组件；丝杆组件包括丝杆和一对丝杆固定座；多组活动匹配让位组件均包括让位块和弹簧；伸缩调节丝杆时，多个物料盒活动定位板与对应的物料盒固定定位板之间形成的夹持位的宽度被同步调节。本申请提供的半导体物料盒夹紧装置，手动转动丝杆端部即可调节夹持位的宽度，适配于夹持不同宽度的物料盒，结构简单有效，操作方便。

本实用新型半导体物料盒夹紧装置及半导体等离子清洗机在权利要求书中公布了：1.一种半导体物料盒夹紧装置，其特征在于，包括： 物料盒放置板，包括放置板主体，所述放置板主体上沿着放置板主体的长度方向间隔开设多个活动限位孔，所述放置板主体的顶面上固定有多个分别位于每个活动限位孔一侧并向上延伸设置的物料盒固定定位板； 物料盒拉动板，位于所述放置板主体的下方，并与所述放置板主体平行设置； 活动限位机构，包括多个物料盒活动定位板、至少一组丝杆组件和多组活动匹配让位组件；多个所述物料盒活动定位板分别穿过一活动限位孔，底端滑动连接于所述物料盒拉动板上；所述丝杆组件包括丝杆和一对丝杆固定座，所述丝杆伸缩式连接于一对所述丝杆固定座上，伸缩方向与所述放置板主体的长度方向一致，所述丝杆中部固定于物料盒拉动板上，所述丝杆外端部突出于最外侧的丝杆固定座的外侧，一对所述丝杆固定座固定于所述放置板主体的底面；多组所述活动匹配让位组件均包括让位块和弹簧，多个所述让位块固定连接于物料盒拉动板上，多个所述物料盒活动定位板的底端穿过一活动限孔，所述弹簧卡设于所述让位块和所述物料盒活动定位板的底端近端部之间。

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