东莞市华石晶电技术有限公司罗建华获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市华石晶电技术有限公司申请的专利基于晶圆正背两面检测的工装平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223206229U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422533342.1，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型基于晶圆正背两面检测的工装平台是由罗建华;罗炜桓;刘佳华;李刁龙设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于晶圆正背两面检测的工装平台在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆检测的技术领域，公开了基于晶圆正背两面检测的工装平台，包括底板，底板上设置有用于检测晶圆正背两面的吸附组件，吸附组件的两端对称设置有用于放置晶圆的放置板，放置板与底板之间连接有第一弹簧，位于放置板的一侧设置有用于压紧晶圆的压紧组件，放置板与压紧组件之间设置有第二弹簧，压紧组件与设置在底板上的驱动组件连接，驱动组件用于驱动压紧组件下压晶圆，并促使放置板与底板接触，吸附组件、驱动组件与控制系统连接；通过以上设置可以对晶圆正背两面进行检测，检测方面更加全面，可以节省时间和提高检测效率；通过一次将晶圆正背面的数据采集齐全，可以减少检测过程中的等待和切换时间，提高检测的效率。
本实用新型基于晶圆正背两面检测的工装平台在权利要求书中公布了：1.基于晶圆正背两面检测的工装平台，其特征在于，包括底板，所述底板上设置有吸附组件，所述吸附组件的两侧对称设置有用于放置晶圆的放置板，所述放置板与所述底板之间连接有第一弹簧，位于所述放置板的一侧设置有用于压紧晶圆的压紧组件，所述吸附组件包括托板、玻璃板、气道盖板以及气管接头，所述托板上设置有所述玻璃板，所述托板底部连接有所述气道盖板，所述托板开设有真空气道，所述真空气道盖板与所述气管接头连接，所述压紧组件与设置在所述底板上的驱动组件连接，所述驱动组件用于驱动所述压紧组件下压晶圆，并促使所述放置板与所述底板接触，所述驱动组件与控制系统连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市华石晶电技术有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市松山湖园区科技十路1号8栋101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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