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龙图腾网获悉安徽拓扑芯技术有限公司申请的专利一种避免损坏晶圆的FOUP自动搬运设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119361493B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411587189.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种避免损坏晶圆的FOUP自动搬运设备是由金俊杰设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种避免损坏晶圆的FOUP自动搬运设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种避免损坏晶圆的FOUP自动搬运设备，包括主壳罩、罩封式防护机构和自夹持拾取机构，所述罩封式防护机构在主壳罩上呈能翻转开合的结构状态设置，其展开状态时与FOUP进行罩封式对接操作，其闭合状态时对晶圆进行封闭式的遮盖防护处理，所述自夹持拾取机构呈水平状态设置在主壳罩的左侧，其采用吸附锁定和夹持限位双重方式，对晶圆拾取中进行自动化的固定操作，且其配合着滑动位置调整，进行晶圆的自动拾取操作。该避免损坏晶圆的FOUP自动搬运设备，实现对晶圆进行封闭式的遮盖防护，减少搬运中晶圆与外接环境的接触受污染损坏，另外通过吸附锁定和夹持限位双重方式，避免拾取过程中出现意外滑落现象。

本发明授权一种避免损坏晶圆的FOUP自动搬运设备在权利要求书中公布了：1.一种避免损坏晶圆的FOUP自动搬运设备，包括： 主壳罩（1），所述主壳罩（1）的右端通过螺栓固定安装在机械臂的执行端； 其特征在于，还包括： 罩封式防护机构（2），所述罩封式防护机构（2）关于主壳罩（1）的水平中轴线呈上下对称设置，且罩封式防护机构（2）在主壳罩（1）上呈能翻转开合的结构状态设置，所述罩封式防护机构（2）包括副壳罩（4）、拨板件（5）和传动杆（6），所述副壳罩（4）在主壳罩（1）上构成翻转结构，当所述副壳罩（4）翻转展开状态时，其靠近主壳罩（1）的一端活动卡塞在主壳罩（1）的壳腔内，使两个副壳罩（4）与主壳罩（1）组合形成一个完整的防护罩壳，在应对FOUP拾取晶圆时实现对FOUP盒口处进行封罩防护处理，当所述副壳罩（4）翻转折叠状态时，上下两个副壳罩（4）折叠贴合在一起，形成一个完整的防护盒，在应对晶圆拾取搬运中实现对晶圆进行封闭式的遮盖防护； 其中，所述副壳罩（4）的壳腔中部设置有一体化结构的副轨道（401），所述副轨道（401）中支架部的轴柱端部通过螺栓与拨板件（5）的一端固定连接在一起，且拨板件（5）的另一端与传动杆（6）的端部采用滑动的方式相连接； 自夹持拾取机构（3），所述自夹持拾取机构（3）呈水平状态设置在主壳罩（1）的左侧，其采用吸附锁定和夹持限位双重方式，对晶圆拾取中进行自动化的固定操作，且其配合着滑动位置调整，进行晶圆的自动拾取操作。

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