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龙图腾网获悉衢州纤纳新能源科技有限公司申请的专利一种用于蒸镀机的可移动式膜厚检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223204901U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423029582.4，技术领域涉及：G01B21/08；该实用新型一种用于蒸镀机的可移动式膜厚检测系统是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于蒸镀机的可移动式膜厚检测系统在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空镀膜技术领域，涉及一种用于蒸镀机的可移动式膜厚检测系统，包括：检测探头、可移动支撑架、电机丝杆传动结构、真空腔室，检测探头设置在可移动支撑架上，可移动支撑架位于电机丝杆传动结构上，将检测探头移动至蒸发源炉附近，电机丝杆传动结构安装在真空腔室中，检测探头包括探头主体、接口、信号通讯线；探头主体安装在可移动支撑架上，探头主体输出端与接口输入端连接，接口输出端与信号通讯线连接，通过信号通讯线传输电信号，信号通讯线位于真空隔离管道内，真空隔离管道固定在接口的一侧；检测探头上设有冷却管路结构，用于给检测探头冷却。本实用新型在不需要检测时移动至无蒸发源炉的位置，避免检测探头内部石英晶振片沉积厚的材料。

本实用新型一种用于蒸镀机的可移动式膜厚检测系统在权利要求书中公布了：1.一种用于蒸镀机的可移动式膜厚检测系统，其特征在于，分别包括：检测探头（100）、可移动支撑架（200）、电机丝杆传动机构（300）以及蒸发源炉（400），检测探头（100）设置在可移动支撑架（200）上，可移动支撑架（200）包括移动底座（202），电机丝杆传动机构（300）分别包括电机（301）、丝杆（305）和导向轴（307），移动底座（202）套接在丝杆（305）和导向轴（307）上往复移动，多个蒸发源炉（400）依次沿丝杆（305）的长度方向排布，电机丝杆传动机构（300）将检测探头（100）移动至每个蒸发源炉（400）上方的炉口处，检测探头（100）检测该蒸发源炉（400）的蒸发速率；所述检测探头（100）、可移动支撑架（200）、丝杆（305）、导向轴（307）和蒸发源炉（400）分别安装在真空腔室内，电机（301）设置在真空腔室座（500）外，丝杆（305）、导向轴（307）和蒸发源炉（400）分别安装在真空腔室座（500）壁上。

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