大连中科超硅集成技术有限公司郭易之获国家专利权
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龙图腾网获悉大连中科超硅集成技术有限公司申请的专利一种PCSEL阵列引线键合集成方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120073470B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510550400.8,技术领域涉及:H01S5/02345;该发明授权一种PCSEL阵列引线键合集成方法及系统是由郭易之;丑俊;石英楠;祁曼婷;姚楚原;李承运;刘丁文;钟雨婷设计研发完成,并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PCSEL阵列引线键合集成方法及系统在说明书摘要公布了:本申请涉及引线键合技术领域,具体涉及一种PCSEL阵列引线键合集成方法及系统,该方法包括:对PCSEL阵列进行定位,将光子引线键合阵列一端与PCSEL阵列的面发射出光口处进行键合,在对PCSEL阵列样本进行引线键合的过程中,根据引线键合过程中键合参数的变化特征,以及定位信息与原始定位信息的差异,得到下一批PCSEL阵列样本的参数值;对波导阵列进行定位后,将光子引线键合阵列另一端与波导阵列进行键合。本申请旨在对键合的参数值进行调整,提升引线键合集成的质量。
本发明授权一种PCSEL阵列引线键合集成方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种PCSEL阵列引线键合集成方法,其特征在于,PCSEL阵列引线键合集成结构包括:衬底层、绝缘层、波导阵列、金属层、PCSEL阵列、光子引线键合阵列;衬底层一侧有一凹槽;绝缘层设于非凹槽处的衬底层之上;波导阵列设于绝缘层之上,与凹槽相接,位于凹槽的一侧;金属层布设于凹槽内的衬底层之上;PCSEL阵列位于金属层之上; 对PCSEL阵列进行定位,基于定位信息与预设位置信息之间的位置差异,获取所有键合位置的位置偏差值;将光子引线键合阵列一端与PCSEL阵列的面发射出光口处进行键合,在对PCSEL阵列样本进行引线键合的过程中,测量键合参数数据;基于同一批所有PCSEL阵列样本每种键合参数数据对应的权值,获取状态样本集合; 基于任意两个PCSEL阵列样本在状态样本集合中的距离,结合位置偏差值之间的差异,得到所述任意两个PCSEL阵列样本之间的距离判定结果;对状态样本集合进行聚类,比较每个聚类簇中每种键合参数相较于预设参数值之间的变化,以及每个聚类簇在键合过程中所占的比例,获取下一批PCSEL阵列样本的参数调整值,得到下一批PCSEL阵列样本的参数值; 对波导阵列进行定位后,将光子引线键合阵列另一端与波导阵列进行键合。
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