江西兆驰半导体有限公司张雪获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利LED芯片及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120264951B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510714636.0,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权LED芯片及其制备方法是由张雪;李美玲;张星星;胡加辉;金从龙设计研发完成,并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本LED芯片及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及发光二极管制造技术领域,尤其涉及一种LED芯片及其制备方法。LED芯片的制备方法包括:提供外延片;形成绝缘层、第一绝缘层开孔;形成光刻胶层,刻蚀形成第二绝缘层开孔;形成Ag金属层和扩散阻挡层,腐蚀减薄扩散阻挡层并刻蚀第二绝缘层开孔的侧壁,形成第三绝缘层开孔;形成保护层;形成钝化层、钝化层开孔;形成焊盘层。其中,保护层的宽度‑扩散阻挡层的宽度≥2μm;焊盘层的侧壁与扩散阻挡层的侧壁之间的距离≥10μm,实施本发明,可阻挡Ag金属层中Ag的扩散,防止其与焊盘层结合形成合金,大幅提升了LED芯片的可靠性。
本发明授权LED芯片及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种LED芯片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、提供外延片,在所述外延片上形成绝缘层,并形成第一绝缘层开孔,得到第一中间体; S2、在所述第一中间体上形成光刻胶层,并形成暴露所述第一绝缘层开孔的光刻胶开口; S3、沿所述光刻胶开口刻蚀所述第一绝缘层开孔的侧壁,在所述第一绝缘层开孔的顶部形成第二绝缘层开孔; S4、在所述光刻胶层上以及所述光刻胶开口内形成反射层,得到第二中间体;其中,所述反射层包括依次层叠的Ag金属层和扩散阻挡层;所述反射层与所述光刻胶层之间设有间隙,以至少部分暴露所述第二绝缘层开孔的侧壁; S5、采用腐蚀液将所述第二中间体腐蚀,以减薄所述扩散阻挡层,并刻蚀所述第二绝缘层开孔的侧壁,在减薄后的扩散阻挡层的上方形成第三绝缘层开孔; S6、在所述光刻胶开口内形成保护层,并去除光刻胶层,得到第三中间体;所述保护层的宽度与所述扩散阻挡层的宽度之差大于等于2μm; S7、在所述第三中间体上形成钝化层,并刻蚀形成暴露保护层的钝化层开孔,得到第四中间体; S8、在所述第四中间体上形成焊盘层;其中,所述焊盘层的侧壁与所述扩散阻挡层的侧壁之间的距离≥10μm。
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