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龙图腾网获悉四川明泰微电子有限公司申请的专利一种晶圆减薄打磨设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120244747B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510757034.3，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权一种晶圆减薄打磨设备是由李蛇宏;杨益东;席强设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆减薄打磨设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆减薄打磨设备，属于半导体加工技术领域，包括：磨盘，上下移动设置；圆形吸盘，设于磨盘正下方，圆形吸盘顶部沿径向开设有贯穿其周侧的条形槽；升降板，上下移动设置，且间隔设于条形槽朝外的一端，升降板顶部设有一个第一U型板；暂存框，包括第一竖框和一对与晶圆周侧形状匹配的弧形挡板，第一竖框内沿竖直方向阵列设有多对支撑条，第一竖框设于第一U型板内；第一推动机构，设于第一U型板远离圆形吸盘的一侧，且第一推动机构的伸缩端通过一个推块与条形吸盘的一端连接，条形吸盘朝向条形槽设置。该设备能够在晶圆减薄生产中实现晶圆的自动上下料，提高生产效率。

本发明授权一种晶圆减薄打磨设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆减薄打磨设备，其特征在于，包括： 磨盘（1），其顶部与一个第一电机（101）的输出轴连接，第一电机（101）顶部与一个竖向朝下设置的第一升降机构（102）的伸缩端连接； 圆形吸盘（2），设于磨盘（1）正下方，圆形吸盘（2）顶部沿径向开设有贯穿其周侧的第一条形槽（201）； 升降板（3），竖向移动设置，且间隔设于第一条形槽（201）朝外的一端，升降板（3）顶部设有一个第一U型板（4），第一U型板（4）包括第一横向段（401）和两个第一竖向段（402），第一横向段（401）与第一条形槽（201）相互垂直设置，两个第一竖向段（402）设于第一横向段（401）远离第一条形槽（201）的一侧，且两个第一竖向段（402）相对于第一条形槽（201）相互对称； 暂存框（5），包括第一竖框（501）和一对对称设于第一竖框（501）一端的弧形挡板（502），第一竖框（501）内沿竖直方向阵列设有多对支撑条（503），支撑条（503）靠近弧形挡板（502）的一端均设有与弧形挡板（502）弧度匹配的延长段；当第一竖框（501）设于第一U型板（4）内时，第一竖框（501）宽度与两个第一竖向段（402）之间的距离匹配； 第一推动机构（6），设于第一U型板（4）远离圆形吸盘（2）的一侧，其伸缩端伸缩方向平行于第一条形槽（201），且其伸缩端通过一个推块（601）与一个条形吸盘（602）的一端连接，推块（601）顶部高度高于条形吸盘（602）顶部高度，条形吸盘（602）朝向第一条形槽（201）设置，当升降板（3）上升至最高处时，条形吸盘（602）顶部的高度与圆形吸盘（2）顶部高度以及最底部的支撑条（503）顶部的高度匹配； 第一推动机构（6）下方间隔设有第一输送机构（9），第一输送机构（9）的输送方向平行于第一条形槽（201）长度方向，圆形吸盘（2）下方设有一对平行于第一推动机构（6）的第二推动机构（10），第二推动机构（10）的伸缩端均垂直连接有竖向推板（1001），当暂存框（5）下降至最大限度时，两个竖向推板（1001）分别朝向第一竖框（501）的两侧壁远离弧形挡板（502）的一端，且暂存框（5）底部高度与第一输送机构（9）顶部高度匹配； 第一输送机构（9）的一侧设有与其平行的第二输送机构（11），用于输送暂存框（5），第二输送机构（11）的一端垂直设有对位板（1101），对位板（1101）朝内的一侧与第一横向段（401）内侧对齐，第二输送机构（11）上方水平设有一个直线机构（12），直线机构（12）的活动端远离第二输送机构（11）外侧的一侧与一个矩形块（1202）的一端垂直连接，直线机构（12）的活动端的移动方向垂直于第二输送机构（11）的输送方向，第一竖框（501）的顶部设有第二U型板（504），第二U型板（504）包括第二横向段（5041）和垂直设于第二横向段（5041）底部的一对第二竖向段（5042），第二竖向段（5042）与第一竖框（501）顶部连接，且第二竖向段（5042）与对位板（1101）平行，矩形块（1202）与置于第二输送机构（11）上的暂存框（5）上的第二U型板（504）的高度匹配，且矩形块（1202）的尺寸与第二U型板（504）内部尺寸匹配，当置于第二输送机构（11）上的暂存框（5）的第一竖框（501）远离弧形挡板（502）的一侧抵接对位板（1101）时，第二U型板（504）对准矩形块（1202），当升降板（3）上升至最大限度时，第一U型板（4）顶部高度高于第二输送机构（11）顶部高度； 第二输送机构（11）的两侧均设有挡板（1102），两个挡板（1102）之间的距离与第一竖框（501）的宽度匹配，处于第二输送机构（11）内侧的一个挡板（1102）靠近对位板（1101）一端的顶部开设有缺口（1103），缺口（1103）底部的高度与第二输送带顶部高度匹配； 直线机构包括活动块（1201）、导向滑轨（1204）、第二丝杆（1203），导向滑轨（1204）通过一对支撑板（1205）架设于第二输送机构（11）上方，导向滑轨（1204）的长度方向平行于第二输送机构（11）的宽度方向，导向滑轨（1204）底部沿长度方向开设有滑槽，第二丝杆（1203）转动设于一对支撑板（1205）之间，活动块（1201）滑动设于滑槽内，第二丝杆（1203）与活动块（1201）螺纹连接，第二丝杆（1203）的一端与一个第三电机（1214）的输出轴连接； 导向滑轨（1204）的两侧均沿长度方向开设有第二条形槽（1206），第二条形槽（1206）内均设有与其平行的导向条（13），导向条（13）设于第二输送机构（11）正上方，导向条（13）远离第一U型板（4）的一端为底部朝第一U型板（4）倾斜的斜面（1301），且导向条（13）一端通过转轴（1302）与一个导向板（14）转动连接，转轴（1302）垂直于导向滑轨（1204）侧面，转轴（1302）外设有扭簧（1401），扭簧（1401）两端分别与导向板（14）和导向条（13）连接，当导向板（14）向上转动至抵接第二条形槽（1206）顶部时，导向板（14）顶部朝远离第一U型板（4）的方向倾斜，且扭簧（1401）处于自然状态；活动块（1201）上开设有贯穿其两端的通槽（1207），通槽（1207）内滑动连接有横板（1208），横板（1208）底部连接有滑块（1209），滑块（1209）穿过活动块（1201）底部与矩形块（1202）连接，活动块（1201）两端均设有连接片（1211），连接片（1211）的底部通均过弹簧（1210）与横板（1208）顶部的两端连接，横板（1208）的两端均通过竖板（1212）连接有导向柱（1213），两个导向柱（1213）分别处于两个第二条形槽（1206）内，导向条（13）与第二条形槽（1206）底部的距离与导向柱（1213）的直径匹配，导向条（13）与第二条形槽（1206）顶部的距离大于导向柱（1213）的直径，当导向柱（1213）处于导向条（13）下方时，矩形块（1202）与第二输送机构（11）上方抵接对位板（1101）的暂存框（5）上的第二U型板（504）对齐，且弹簧（1210）处于拉伸状态，当导向柱（1213）抵接第二条形槽（1206）的壁体顶部时，弹簧（1210）处于自然状态，且矩形块（1202）底部高度高于第二输送机构（11）上方的暂存框（5）的第二U型板（504）的顶部高度。

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