朗姆研究公司克里希纳·比鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利用于从衬底处理系统的排放装置的泵去除沉积物的清洁系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112534563B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980051947.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于从衬底处理系统的排放装置的泵去除沉积物的清洁系统是由克里希纳·比鲁;刘刚;伦纳德·许;阿南德·查德拉什卡;许吉顺设计研发完成，并于2019-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于从衬底处理系统的排放装置的泵去除沉积物的清洁系统在说明书摘要公布了：用于衬底处理系统的排放系统包含：自由基产生器，其构造成接收包含卤素物质的气体混合物并产生卤素自由基；第一泵，其从处理室的排放出口抽出废气；以及第一阀，其被构造成选择性地将自由基产生器的出口流体地连接到处理室的出口下游的第一泵。
本发明授权用于从衬底处理系统的排放装置的泵去除沉积物的清洁系统在权利要求书中公布了：1.一种用于衬底处理系统的排放系统，其包括： 自由基产生器，其被构造成接收包含卤素物质的气体混合物并且产生卤素自由基； 第一泵，其用于从处理室的排放出口抽出废气； 第一阀，其被构造成将所述自由基产生器的出口选择性地流体地连接至所述处理室的所述出口下游的所述第一泵的入口；以及 混合碗，其布置在所述第一泵的上游和所述处理室的所述出口的下游， 其中，所述第一阀被构造成将所述自由基产生器的所述出口选择性地流体地连接至所述混合碗的第一入口。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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