应用材料公司E·维拉兹克兹获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于马兰戈尼干燥的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113169098B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980079388.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于马兰戈尼干燥的方法和设备是由E·维拉兹克兹;J·兰加拉简设计研发完成，并于2019-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于马兰戈尼干燥的方法和设备在说明书摘要公布了：公开了一种用于马兰戈尼Marangoni基板干燥的方法和设备，其包括可调整的喷雾棒组件，可调整的喷雾棒组件具有：耦接至干燥系统的支撑结构的安装支架；耦接至安装支架并设置成与支撑结构的面平行的基底组件；以及耦接至基底组件并与基底组件平行的安装组件。安装组件在两个远端处在垂直方向上可调整。安装组件包括臂，一个或多个喷雾棒可设置在臂上。当固定到安装组件时，一个或多个喷雾棒可围绕纵向轴线旋转。
本发明授权用于马兰戈尼干燥的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种设备，包括： 基底； 安装组件，设置在所述基底的顶上，所述安装组件包括： 横杆，具有从所述横杆的顶表面延伸至所述横杆的底表面的多个孔口； 引导销，设置在所述横杆的所述多个孔口中的一个孔口内并与所述基底接触，所述引导销配置成对齐所述基底和所述安装组件并且所述多个孔口中的所述一个孔口的直径比所述引导销宽； 校平器，设置在所述横杆的所述多个孔口中的一个孔口内并与所述基底接触，所述校平器配置成相对于所述基底定位所述横杆；以及 两个臂，耦接至所述横杆，每个臂正交地设置在所述横杆的相对的远端处并配置成支撑一个或多个喷雾棒， 其中所述一个或多个喷雾棒围绕x轴、y轴和z轴能被调整到期望的位置和取向。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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