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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利关键图案的检测方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111489981B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010045596.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权关键图案的检测方法和装置是由高乘佑设计研发完成，并于2020-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本关键图案的检测方法和装置在说明书摘要公布了：提供关键图案的检测方法和装置，在短时间内检测关键图案的位置。该方法对被检测物所具有的关键图案的位置进行检测，具有如下步骤：关键图案粗检测步骤，一边使保持着被检测物的保持单元和拍摄单元相对地移动一边利用拍摄单元对被检测物进行拍摄而形成多个拍摄粗图像，对形成的各个拍摄粗图像和映现出关键图案的参照用图像进行图案匹配而检测映现出关键图案的拍摄粗图像；关键图案精密检测步骤，按照形成所检测的拍摄粗图像时的拍摄单元和保持单元的相对位置对被检测物进行拍摄而形成精密拍摄图像，对精密拍摄图像和参照用图像进行图案匹配而检测精密拍摄图像所包含的关键图案；和关键图案位置检测步骤，检测所检测的关键图案的位置。

本发明授权关键图案的检测方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种关键图案的检测方法，在如下的装置中对保持单元所保持的被检测物所具有的关键图案的位置进行检测，该装置具有： 所述保持单元，其对具有该关键图案的该被检测物进行保持； 拍摄单元，其对该保持单元所保持的该被检测物进行拍摄； 移动单元，其使该保持单元和该拍摄单元相对地移动；以及 控制单元，其对该拍摄单元和该移动单元进行控制， 其特征在于， 该关键图案的检测方法具有如下的步骤： 保持步骤，利用该保持单元对该被检测物进行保持； 关键图案粗检测步骤，一边利用该移动单元使保持着该被检测物的该保持单元和该拍摄单元相对地移动一边不使该保持单元和该拍摄单元的相对移动停止而利用该拍摄单元对该被检测物进行拍摄而形成多个拍摄粗图像，对所形成的各个该拍摄粗图像和预先登记于该控制单元的映现出该关键图案的参照用图像进行图案匹配而从多个该拍摄粗图像中检测映现出该关键图案的该拍摄粗图像； 关键图案精密检测步骤，将该拍摄单元和该保持单元定位于形成该关键图案粗检测步骤中所检测的该拍摄粗图像时的该拍摄单元和该保持单元的相对位置，在使该保持单元和该拍摄单元的相对移动停止的状态下，利用该拍摄单元对该被检测物进行拍摄而形成精密拍摄图像，对该精密拍摄图像和该参照用图像进行图案匹配而检测该精密拍摄图像所包含的该关键图案；以及 关键图案位置检测步骤，检测通过该关键图案精密检测步骤而检测的该关键图案的位置。

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