株式会社日本制钢所藤贵洋获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日本制钢所申请的专利悬浮运输设备和激光处理设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113307039B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110182770.2,技术领域涉及:B65G54/00;该发明授权悬浮运输设备和激光处理设备是由藤贵洋;山口芳広设计研发完成,并于2021-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本悬浮运输设备和激光处理设备在说明书摘要公布了:本发明涉及一种悬浮运输设备和激光处理设备。根据一实施例的悬浮运输设备用于通过将气体喷射到基板的下表面来使基板漂浮的同时运输基板。悬浮运输设备包括:多个喷射口,构造成将气体喷射到基板;下游流路,构造成将气体供给到多个喷射口;上游流路,构造成将气体供给到下游流路;以及气体供给口,构造成将气体供给到下游流路。上游流路的截面积被构造成大于下游流路的截面积。
本发明授权悬浮运输设备和激光处理设备在权利要求书中公布了:1.一种悬浮运输设备,用于在通过将气体喷射到基板的下表面来使所述基板漂浮的同时运输所述基板,其特征在于,所述悬浮运输设备包括: 多个喷射口,构造为将所述气体喷射到所述基板上; 第一流路,被配置为将所述气体供给到多个所述喷射口; 第二流路,被配置为将所述气体供给到所述第一流路;和 气体供给口,构造为将所述气体供给到所述第二流路; 其中,所述第二流路的截面积构造为大于所述第一流路的截面积,在所述悬浮运输设备的上表面形成有孔部, 通过在所述孔部中设置包括有切口部的柱状部件而形成所述喷射口,该切口部的侧面在竖直方向上被切去,以及 所述柱状部件包括释放结构,所述柱状部件在远端侧的周缘被切去。
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