深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种对准系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119208228B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411302735.X，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种对准系统及方法是由陈鲁;余涛;梁家勇;孙俊阳;袁明波;郁健设计研发完成，并于2024-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种对准系统及方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种对准系统及方法，可应用于半导体技术领域，其中系统包括：设备前端模块和制程模块；设备前端模块包括机械手臂、第一预对准装置以及第二预对准装置；在取片时，机械手臂用于将晶圆从晶圆盒搬运至第一预对准装置，将托盘从托盘盒搬运至第二预对准装置；第一预对准装置用于对晶圆进行预对准；第二预对准装置用于对托盘进行预对准；机械手臂还用于将预对准后的晶圆搬运至预对准后的托盘的上方，并由第二预对准装置将晶圆放入托盘中；机械手臂还用于将承载着晶圆的托盘搬运至制程模块；制程模块用于接收托盘，并对托盘承载着的晶圆进行工艺。由此，通过两个预对准装置分别对晶圆和托盘进行预对准，减少了搬运次数，提高了预对准精度。
本发明授权一种对准系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种对准系统，其特征在于，包括：设备前端模块和制程模块； 所述设备前端模块包括机械手臂、第一预对准装置以及第二预对准装置； 在取片时，所述机械手臂用于将晶圆从晶圆盒搬运至所述第一预对准装置，将托盘从托盘盒搬运至所述第二预对准装置； 所述第一预对准装置用于对所述晶圆进行预对准； 所述第二预对准装置用于对所述托盘进行预对准； 所述机械手臂还用于将预对准后的所述晶圆搬运至预对准后的所述托盘的上方，并由所述第二预对准装置将所述晶圆放入所述托盘中； 所述机械手臂还用于将承载着所述晶圆的所述托盘搬运至所述制程模块；所述制程模块用于接收所述托盘，并对所述托盘承载着的所述晶圆进行后续工艺。
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