弗萨姆材料美国有限责任公司李明获国家专利权
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龙图腾网获悉弗萨姆材料美国有限责任公司申请的专利用于沉积含硅膜的组合物和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115992345B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211551636.6，技术领域涉及：C23C16/32；该发明授权用于沉积含硅膜的组合物和方法是由李明;雷新建;R·N·维蒂斯;R·G·里奇韦;萧满超设计研发完成，并于2018-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于沉积含硅膜的组合物和方法在说明书摘要公布了：本文描述了在衬底的至少一个表面上形成包含硅和碳的介电膜的组合物和方法，所述方法包括将选自如本文定义的式IA结构表示的化合物和式IB结构表示的化合物的至少一种硅杂环烷烃前体引入所述反应器：
本发明授权用于沉积含硅膜的组合物和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于含硅介电膜的气相沉积的组合物，其包含选自以下的至少一种硅杂环烷烃前体：1,3-二乙烯基-1,3-二硅杂环丁烷、1,3-二乙烯基-1,3-二甲基-1,3-二硅杂环丁烷、1,1,3,3-四乙烯基-1,3-二硅杂环丁烷、1,3,5-三乙烯基-1,3,5-三硅杂环己烷、1,3,5-三乙烯基-1,3,5-三甲基-1,3,5-三硅杂环己烷、1,3-二烯丙基-1,3-二硅杂环丁烷、1,3-二烯丙基-1,3-二甲基-1,3-二硅杂环丁烷、1,1,3,3-四烯丙基-1,3-二硅杂环丁烷、1,3,5-三烯丙基-1,3,5-三硅杂环己烷、1,3,5-三烯丙基-1,3,5-三甲基-1,3,5-三硅杂环己烷、1,1,3,3,5,5-六烯丙基-1,3,5-三硅杂环己烷、1,3-二乙炔基-1,3-二硅杂环丁烷、1,3-二乙炔基-1,3-二甲基-1,3-二硅杂环丁烷、1,1,3,3-四乙炔基-1,3-二硅杂环丁烷、1,3,5-三乙炔基-1,3,5-三硅杂环己烷、1,3,5-三乙炔基-1,3,5-三甲基-1,3,5-三硅杂环己烷、1,1,3,3,5,5-六乙炔基-1,3,5-三硅杂环己烷，其中所述硅杂环烷烃前体包含按重量计小于5ppm的选自卤化物、水、金属离子及其组合的一种或多种杂质。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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