株式会社日立高新技术笹岛二大获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利诊断系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115176327B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080097490.5，技术领域涉及：H01J37/24；该发明授权诊断系统是由笹岛二大;高野正干;植田和弘;石川昌义;吉田泰浩设计研发完成，并于2020-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本诊断系统在说明书摘要公布了：本公开提出一种诊断系统，即使是考虑了多个要因或多个复合要因的错误，也能合适地进行原因确定。本公开所涉及的诊断系统具备：学习器，其将规定检查装置的动作的配方、记述了所述装置的状态的日志数据或记述了所述样品的特性的样品数据当中的至少任一者与所述装置的错误的种类建立对应来进行学习，使用所述学习器来推定所述错误的原因参考图4。
本发明授权诊断系统在权利要求书中公布了：1.一种诊断系统，对测量或检查样品的装置的状态进行诊断，所述诊断系统的特征在于， 所述诊断系统具备：计算机系统，其推定在所述装置中产生的错误的原因， 所述计算机系统具备： 学习器，其通过机器学习来学习规定所述装置的动作的配方、记述了所述装置的状态的日志数据或记述了所述样品的特性的样品数据当中的至少任一者与所述错误的种类之间的对应关系， 所述计算机系统在所述学习器实施了所述机器学习后，在所述装置中产生了所述错误的情况下，通过将产生所述错误时所述装置所使用的所述配方、产生所述错误时的所述日志数据或产生所述错误时的所述样品数据当中的至少任一者对所述学习器投入，取得关于所述错误的原因当中的起因于所述配方、所述装置的状态或所述样品的特性的至少任一者的原因的推定结果，作为所述学习器的输出，输出该推定结果， 所述学习器进一步学习规定所述装置的动作的配方的变动量、记述了所述装置的状态的日志数据的变动量或记述了所述样品的特性的样品数据的变动量当中的至少任一者与所述装置的检查精度的变动量之间的对应关系， 所述计算机系统通过将新的所述配方、新的所述日志数据或新的所述样品数据当中的至少任一者对所述学习器投入，来取得关于所述装置的检查精度的变动量的推定结果，作为所述学习器的输出，输出该推定结果。
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