江苏纽势达新材料装备有限公司吕兆辉获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏纽势达新材料装备有限公司申请的专利一种半导体蚀刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181091U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422376769.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体蚀刻设备是由吕兆辉;黄杰;冯峰;卢刚;王禹设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体蚀刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体蚀刻设备，涉及半导体蚀刻技术领域，包括蚀刻槽和两个支撑架，两个所述支撑架底部均与蚀刻槽内腔底部固定连接，两个所述支撑架之间安装有转换机构，本实用新型通过转动架的旋转机制确保了工位间的灵活切换，一个工位在进行蚀刻操作时，另一个工位可以同时更换已完成蚀刻的晶片并装载新的晶片，这种设计缩短了停机时间，使生产过程更加连续和自动化，此外，通过传动齿轮系统的精密控制，确保了置物板在旋转过程中始终保持水平状态，避免晶片在蚀刻时发生偏移或掉落，确保了蚀刻过程的均匀性和稳定性，进而提升了产品的质量和生产的精度。
本实用新型一种半导体蚀刻设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体蚀刻设备，包括蚀刻槽（1）和两个支撑架（3），两个所述支撑架（3）底部均与蚀刻槽（1）内腔底部固定连接，其特征在于：两个所述支撑架（3）之间安装有转换机构（4）； 所述转换机构（4）包括转动杆（41），所述转动杆（41）两端分别与两个支撑架（3）转动连接，且所述转动杆（41）两端外表面固定连接有转动架（42），所述转动架（42）两端均固定连接有转动环（47），所述转动环（47）内侧转动连接有安装架（46），两个所述安装架（46）之间安装有定位机构（5），所述转动杆（41）外表面设置有第二齿轮（45），所述第二齿轮（45）与其中一个支撑架（3）固定连接，所述第二齿轮（45）顶部和底部均啮合连接有传动齿轮（44），所述传动齿轮（44）一侧啮合连接有第一齿轮（43），所述第一齿轮（43）与安装架（46）外表面固定连接。
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