上海鸿辉光通科技股份有限公司李云棚获国家专利权
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龙图腾网获悉上海鸿辉光通科技股份有限公司申请的专利一种用于PECVD制作的喷头装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223176198U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422385856.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种用于PECVD制作的喷头装置是由李云棚设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于PECVD制作的喷头装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于PECVD制作的喷头装置，包括中转盒，所述中转盒的上端连接有进管，所述中转盒的侧壁开设有圆槽，所述中转盒的底端开设有出孔，所述圆槽内活动连接有转动机构，所述转动机构内设置有喷头机构，所述转动机构和中转盒上设置有有限位机构，所述喷头机构包括外环和喷头管，多个所述外环的内壁均连接有喷头管，多个喷头管的直径逐级递减；将外环螺纹拧入到通管的外侧侧壁，并使喷头管的顶端插入到通管内侧，原料从进管进入到中转盒内，再从出孔流向通管，进而从喷头管喷洒出来，转动转盘，转盘可以带动通管转动，可以使安装有不同直径喷头管的通管与出孔对齐，从而实现方便调用不同直径喷头管进行喷洒的效果。
本实用新型一种用于PECVD制作的喷头装置在权利要求书中公布了：1.一种用于PECVD制作的喷头装置，包括中转盒1，其特征在于，所述中转盒1的上端连接有进管2，所述中转盒1的侧壁开设有圆槽3，所述中转盒1的底端开设有出孔4，所述圆槽3内活动连接有转动机构5，所述转动机构5内设置有喷头机构6，所述转动机构5和中转盒1上设置有有限位机构7； 所述喷头机构6包括外环601和喷头管602，多个所述外环601的内壁均连接有喷头管602，多个喷头管602的直径逐级递减，所述喷头管602的侧壁贯穿外环601的底端。
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