深圳市友恩半导体有限公司谈晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市友恩半导体有限公司申请的专利一种用于芯片制造中抽检装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119252753B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411368388.0,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权一种用于芯片制造中抽检装置是由谈晓东;陈贻云;丁长胜设计研发完成,并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于芯片制造中抽检装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于芯片制造中抽检装置,包括外壳组件和清洁组件,所述外壳组件的内部上方安装有动力组件,且动力组件的下端连接有夹持组件,所述清洁组件位于夹持组件的左右两侧,且夹持组件包括通气管、涡轮和吸盘夹具,所述通气管的内部安装有涡轮,且通气管的下端安装有吸盘夹具,所述清洁组件包括支撑架、清洁毛刷、第一传动轮、皮带和第二传动轮,且支撑架的内部安装有清洁毛刷,所述支撑架的前后两侧连接有第一传动轮,本发明的有益效果是:该设备具有补气结构,避免夹持损坏芯片,该设备能够对芯片的表面进行清理,同时也能够对芯片进行定位,该设备能够进行避光,避免光照影响设备的检测效果,同时也具有密封结构,避免连接处漏光。
本发明授权一种用于芯片制造中抽检装置在权利要求书中公布了:1.一种用于芯片制造中抽检装置,其特征在于,包括外壳组件(1)和清洁组件(4),所述外壳组件(1)的内部上方安装有动力组件(2),且动力组件(2)的下端连接有夹持组件(3),所述清洁组件(4)位于夹持组件(3)的左右两侧,且夹持组件(3)包括通气管(301)、涡轮(302)和吸盘夹具(303),所述通气管(301)的内部安装有涡轮(302),且通气管(301)的下端安装有吸盘夹具(303),所述清洁组件(4)包括支撑架(401)、清洁毛刷(402)、第一传动轮(403)、皮带(404)和第二传动轮(405),且支撑架(401)的内部安装有清洁毛刷(402),所述支撑架(401)的前后两侧连接有第一传动轮(403),且第一传动轮(403)的外部设置有皮带(404),所述皮带(404)远离第一传动轮(403)的一侧连接有第二传动轮(405),所述外壳组件(1)包括壳体(101)、风机(102)、风管(103)和皮带输送机(104),且壳体(101)一侧安装有风机(102),所述风机(102)的风口连接有风管(103),打开风机(102),使风管(103)对通气管(301)内部抽气,在抽气的同时通气管(301)内部的空气流动带动涡轮(302)转动。
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