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宸微设备科技(苏州)有限公司邹文慧获国家专利权

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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利气体流量监测系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223181093U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422407576.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型气体流量监测系统是由邹文慧设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

气体流量监测系统在说明书摘要公布了:一种气体流量监测系统,气体流量监测系统工作时,需要监测的进气通道对应的电磁阀开启,气体从电磁阀的进气口、出气口、进气通道进入腔室中,因为电磁阀的旁通口与进气口连通,从而流动气体产生的压强能通过进气口和旁通口达到压力计,因此压力计能够准确获得流动气体的气体流量,而且因为腔体的各个腔室相互隔绝,不连通,当通过压力计监测其中一个腔室中进气通道的气体流量时不易受到另一个腔室的干扰,因此能够更准确的获得需要监测的进气通道的气体流入量。

本实用新型气体流量监测系统在权利要求书中公布了:1.一种气体流量监测系统,其特征在于,包括: 腔体,包括多个相互隔绝的腔室,且每个所述腔室中均设置有一个或多个进气通道; 压力计; 多个电磁阀,所述电磁阀包括进气口、出气口以及旁通口,每个所述旁通口均与所述压力计连通,所述进气口用于向电磁阀提供气体,且所述进气口与旁通口连通;所述出气口用于与所述腔室中的进气通道连通,用于向所述腔室提供气体,所述电磁阀用于开启或关闭所述进气口和出气口之间的通道。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宸微设备科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215299 江苏省苏州市吴江区江陵街道芦荡路228号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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