浙江百盛光电股份有限公司陈跃华获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉浙江百盛光电股份有限公司申请的专利一种晶圆擦洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181092U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422396583.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆擦洗设备是由陈跃华;卜志超;吴怡平;余本成设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆擦洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆擦洗设备，包括有支撑盘，所述支撑盘转动连接在集液盘内；悬臂，所述悬臂设置在所述集液盘上端；升降气缸，所述升降气缸纵向设置在所述悬臂上；擦洗盘，所述擦洗盘转动连接在所述支撑盘上方；所述集液盘内底端设置有下轴承座；所述支撑盘转动连接在所述下轴承座的上方；所述支撑盘下端设置有第一挡水环；所述第一挡水环设置在所述下轴承座外周。支撑盘和擦洗盘转动对晶圆表面进行擦拭，清洁效率高且无死角；晶圆上被清洁出的砂液不会进入到运动间隙中，不会对运动间隙造成磨损，提高运动结构的使用寿命；支撑盘上端通过更换不同型号的定位环，能够对不同型号的晶圆进行兼容。
本实用新型一种晶圆擦洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆擦洗设备，其特征在于：包括有 支撑盘，所述支撑盘转动连接在集液盘内，晶圆放置在所述支撑盘上端； 悬臂，所述悬臂设置在所述集液盘上端； 升降气缸，所述升降气缸纵向设置在所述悬臂上； 擦洗盘，所述擦洗盘转动连接在所述升降气缸的移动端的下端，且位于所述支撑盘上方； 其中，所述集液盘内底端设置有下轴承座；所述支撑盘转动连接在所述下轴承座的上方；所述支撑盘下端设置有第一挡水环；所述第一挡水环设置在所述下轴承座外周；所述第一挡水环的下端位于所述集液盘内底端的上方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江百盛光电股份有限公司，其通讯地址为：314009 浙江省嘉兴市南湖区余新镇新盛路262号1幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励