深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司程明星获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利晶圆盒获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223181098U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422424194.X，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型晶圆盒是由程明星设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆盒，晶圆盒包括：盒体、气体容器和气道；其中，盒体包括第一腔室和第二腔室，第一腔室用于存放晶圆；气体容器用于容纳清洁气体，且可拆卸地设置于第二腔室内；气道设置于第一腔室的侧壁；气道上设置有与第一腔室连通的充气口；气体容器配置为：在与气道连通时，通过充气口向第一腔室内充入清洁气体。本申请可以向第一腔室内充入清洁气体，从而去除第一腔室内的有害物质，使得晶圆盒内的微环境始终处于干净的气氛，降低有害物质对半导体工艺制程的影响。
本实用新型晶圆盒在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒，其特征在于，所述晶圆盒包括： 盒体，包括第一腔室和第二腔室，所述第一腔室用于存放晶圆； 气体容器，用于容纳清洁气体，所述气体容器可拆卸地设置于所述第二腔室内； 气道，设置于所述第一腔室的侧壁；所述气道上设置有与所述第一腔室连通的充气口； 所述气体容器配置为：在与所述气道连通时，通过所述充气口向所述第一腔室内充入所述清洁气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，其通讯地址为：518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园D栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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