山东有研艾斯半导体材料有限公司张荣彬获国家专利权
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龙图腾网获悉山东有研艾斯半导体材料有限公司申请的专利一种12英寸晶圆用PFA晶圆盒矫正装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223173553U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422437547.X，技术领域涉及：B29C53/16；该实用新型一种12英寸晶圆用PFA晶圆盒矫正装置是由张荣彬;陈信;于兴瑞;蒙德强;程怀璋;潘世林;王占滨;梁鹏飞设计研发完成，并于2024-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种12英寸晶圆用PFA晶圆盒矫正装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种12英寸晶圆用PFA晶圆盒矫正装置。该矫正装置包括支撑腿、底板、支撑块、内六角螺栓，其中，四个支撑腿分别安装在底板的四角；四个支撑块分别通过内六角螺栓固定于底板上部，构成支撑晶圆盒的主体结构；四个支撑块分为前后支撑块和左右支撑块两个部分，左右支撑块顶部分别设有沟槽，当PFA晶圆盒正立安装在矫正装置上时，前后支撑块的外侧支撑PFA晶圆盒底部前后侧内壁，左右支撑块的沟槽内侧支撑PFA晶圆盒底部左右侧内壁；当PFA晶圆盒倒立安装在矫正装置上时，前后支撑块的外侧支撑PFA晶圆盒顶部前后侧内壁，左右支撑块的外侧支撑PFA晶圆盒顶部左右侧内壁。本实用新型可以降低生产过程中因PFA晶圆盒变形导致的生产事故，提高生产效率。
本实用新型一种12英寸晶圆用PFA晶圆盒矫正装置在权利要求书中公布了：1.一种12英寸晶圆用PFA晶圆盒矫正装置，其特征在于，包括支撑腿、底板、支撑块、内六角螺栓，其中，四个支撑腿分别安装在底板的四角；四个支撑块分别通过内六角螺栓固定于底板上部，构成支撑晶圆盒的主体结构；四个支撑块分为前后支撑块和左右支撑块两个部分，左右支撑块顶部分别设有沟槽， 当PFA晶圆盒正立安装在矫正装置上时，前后支撑块的外侧支撑PFA晶圆盒底部前后侧内壁，左右支撑块的沟槽内侧支撑PFA晶圆盒底部左右侧内壁；当PFA晶圆盒倒立安装在矫正装置上时，前后支撑块的外侧支撑PFA晶圆盒顶部前后侧内壁，左右支撑块的外侧支撑PFA晶圆盒顶部左右侧内壁。
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