江苏京创先进电子科技有限公司粟里获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏京创先进电子科技有限公司申请的专利转台组件及半导体器件加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223181096U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422445510.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型转台组件及半导体器件加工设备是由粟里;王永强;邢珂;赵锋;孙志超设计研发完成,并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本转台组件及半导体器件加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型揭示了转台组件及半导体器件加工设备,其中转台组件包括旋转台及绕所述旋转台的轴线均分圆周分布的承片台,所述旋转台通过套装在其外周的同步带连接驱动滚轮,所述旋转台的外径是所述驱动滚轮的外径的至少10倍,所述驱动滚轮连接驱动其自转的驱动电机。本实用新型的结构中,使同步带直接套装在旋转台的外周,从而无需设置额外的带轮,能够有效地减少部件,并且为其他部分件的安装提供了空间,降低了其他结构的安装难度。同时,旋转台和驱动滚轮的外径的差值更大,能够有效地增加同步带和旋转台的接触面积,保证驱动的稳定性和准确性,并且更便于控制旋转台的转速。
本实用新型转台组件及半导体器件加工设备在权利要求书中公布了:1.转台组件,包括旋转台及绕所述旋转台的轴线均分圆周分布的承片台,其特征在于:所述旋转台通过套装在其外周的同步带连接驱动滚轮,所述旋转台的外径是所述驱动滚轮的外径的至少10倍,所述驱动滚轮连接驱动其自转的驱动电机。
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