海创智能装备(烟台)有限公司李超获国家专利权
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龙图腾网获悉海创智能装备(烟台)有限公司申请的专利一种半导体用一体式冷热盘设备及立体式涂胶显影系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223180560U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422482364.X，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种半导体用一体式冷热盘设备及立体式涂胶显影系统是由李超设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体用一体式冷热盘设备及立体式涂胶显影系统在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种半导体用一体式冷热盘设备及立体式涂胶显影系统，所述半导体用一体式冷热盘设备包括机架，所述机架上设有第一工位和至少一个第二工位，在所述第二工位上方活动设有持样运输保温罩，所述持样运输保温罩夹持晶圆并在第一工位和第二工位之间的输送，所述持样运输保温罩在所述第二工位的热盘工作时提供保温作用。本实用新型减少了晶圆搬运机器人的工作点位，提高了设备的整体工作效率；本实用新型通过紧凑式设计，可以合理利用设备立体的空间，结构紧凑，减少占地面积，为立体式机台提供了思路。
本实用新型一种半导体用一体式冷热盘设备及立体式涂胶显影系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体用一体式冷热盘设备，包括机架501，其特征在于，所述机架501上设有第一工位502和至少一个第二工位503，所述第一工位502上设有冷盘，所述第二工位503上设有热盘，在所述第二工位503上方活动设有持样运输保温罩504，所述持样运输保温罩504夹持晶圆并在第一工位502和第二工位503之间的输送，所述持样运输保温罩504在所述第二工位503的热盘工作时提供保温作用。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人海创智能装备(烟台)有限公司，其通讯地址为：265503 山东省烟台市经济技术开发区宁波路17号海创大厦10层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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