青岛华旗科技有限公司姜洪斌获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛华旗科技有限公司申请的专利一种石英反应管安装结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223176255U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422495234.X，技术领域涉及：C30B25/08；该实用新型一种石英反应管安装结构是由姜洪斌;姜雪玲;孙爱荣设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英反应管安装结构在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体气相外延系统工艺设备技术领域，具体为一种石英反应管安装结构，包括安装柜，所述安装柜通过上隔板和下隔板将其分隔为上柜体、中柜体和下柜体，所述中柜体内设有开合炉体，所述开合炉体内设有石英反应管，所述石英反应管的顶部设有石英圆盘法兰，所述石英圆盘法兰通过固定法兰与上部水冷法兰进行固定，所述上隔板上设有用于安装石英反应管的固定槽，所述固定槽从上隔板的边缘向内延伸，所述上部水冷法兰位于石英圆盘法兰的下方，为两个半圆环拼接而成的环状结构，在本实用新型中石英反应管拆卸方便，非常有效的解决了设备对高度空间的苛刻需求，节省了成本。
本实用新型一种石英反应管安装结构在权利要求书中公布了：1.一种石英反应管安装结构，包括安装柜，其特征在于，所述安装柜通过上隔板4和下隔板5将其分隔为上柜体1、中柜体2和下柜体3，所述中柜体2内设有开合炉体6，所述开合炉体6内设有石英反应管7，所述石英反应管7的顶部设有石英圆盘法兰8，所述石英圆盘法兰8通过固定法兰9与上部水冷法兰10进行固定，所述上隔板4上设有用于安装石英反应管7的固定槽11，所述固定槽11从上隔板4的边缘向内延伸，所述上部水冷法兰10位于石英圆盘法兰8的下方，为两个半圆环拼接而成的环状结构。
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